Dissertation (Metadaten)
Titel:Untersuchungen der kinetischen Prozesse an Silizium-Elektroden mit Stromtransienten- und Impedanzmessungen
 
Autor:Gunther Hasse
 
URN:NBN:urn:nbn:de:gbv:8-diss-15892
 
Fakultät:Technische Fakultät
DDC Sachgebiet:530 Physik
 
Datum der mdl. Prüfung:14.12.2005
 
Referent(in):Prof. Dr. H. Föll
Korreferent(en) Korreferentin:Prof. Dr. G. Popkirov
 
Beschreibung:Es wurden elektrochemische Prozesse am Kontakt Silizium/Flußsäure untersucht. Insbesondere bildete dabei die Erweiterung des Verständnisses der Kennlinie einen zentralen Punkt der Arbeit. Es zeigte sich dabei, daß die Oxidbildung der wesentliche Prozeß ist, der die Kennlinienform bestimmt. Zusätzlich wurden Poren in Silizium geätzt und Versuche unternommen, den Fortschritt der Ätzung mit Impedanzspektroskopie in-situ zu beobachten. Außerdem wurden noch neuartige Oberflächenstrukturen geätzt, die Fraktalen Mustern sehr ähnlich sehen. Andere haben klare polygone Formen, die offenbar unabhängig von der Kristallsymmetrie sind.
 
Schlagworte:Siliciumelektrode ; Stromtransport ; Modell ; Silizium, Halbleiter, Elektrochemie, Oszillationen, Impedanzmessungen, Porenätzung, Current-Burst-Modell
 
Dokumente:
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