Dissertation (Metadaten)
Titel:Entwicklung eines mikromechanischen Drehratensensorsystems mit nichtlinearem Anregungskonzept auf der Basis des am ISIT entwickelten PSM-X2-Prozesses
 
Autor:Oliver Schwarzelbach
 
URN:NBN:urn:nbn:de:gbv:8-diss-26635
 
Fakultät:Technische Fakultät
DDC Sachgebiet:620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
 
Datum der mdl. Prüfung:24.07.2007
 
Referent(in):Prof. Dr. rer. nat. Anton Heuberger
Korreferent(en) Korreferentin:Prof. Dr. rer. nat. Helmut Föll
 
Beschreibung:Diese Arbeit dokumentiert die Entwicklung eines Mikrosystems zur Erfassung von Drehraten bestehend aus einem mikromechanischen Sensor und der zugehörigen Systemelektronik. Die Besonderheit dieses Systems besteht in der Verwendung eines nichtlinearen Antriebskonzepts, das in dieser Form erstmalig erfolgreich umgesetzt werden konnte.
 
Schlagworte:Drehratensensor, MEMS, nichtlinear, Sensorsystem, mikromechanisch
 
Dokumente:
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