Design and investigation of microelectromechanical (MEMS) varactors
Three surface micromachined all-metal electrostatically driven varactors were designed, fabricated, and tested at low frequency (10 kHz) in the presented work. Capacity ratios of 1.65, 3.29, and 4.36 were measured. Main problems with possible solutions were discussed. Ways to improve the capacity ratios were proposed.
Vorschau
Rechte
Nutzung und Vervielfältigung:
Keine Lizenz. Es gelten die Bestimmungen des deutschen Urheberrechts (UrhG).
Bitte beachten Sie, dass einzelne Bestandteile der Publikation anderweitigen Lizenz- bzw. urheberrechtlichen Bedingungen unterliegen können.
Zitieren
Zitierform:
Zitierform konnte nicht geladen werden.