Multikristalline Siliziumsolarzellen mit Siliziumoxid-Siliziumnitrid-Rückseitenpassivierung

In der Dissertation wurde eine Prozessstrategie zur Rückseitenpassivierung von dünnen multikristallinen Siliziumsolarzellen auf der Basis eines Siliziumoxid-Siliziumnitrid-Schichtsystems entwickelt und umgesetzt. Es erfolgte eine eingehende Charakterisierung der eingesetzten Passivierungsschichten und der hergestellten Solarzellen.

In this work a process strategy for the rear surface passivation of thin multicrystalline silicon solar cells based on a layer system of silicon oxide and silicon nitride was developed and realized. The employed passivation layers and the fabricated solar cells were intensively characterized.

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