@PhdThesis{diss_mods_00005657,
  author = 	{Keipert-Colberg, Sinje},
  title = 	{Multikristalline Siliziumsolarzellen mit Siliziumoxid-Siliziumnitrid-R{\"u}ckseitenpassivierung},
  year = 	{2010},
  publisher = 	{Christian-Albrechts-Universit{\"a}t zu Kiel},
  address = 	{Kiel},
  keywords = 	{Solarzelle; R{\"u}ckseitenpassivierung; PECVD; multikristallines Silizium; Siliziumoxid; Siliziumnitrid; solar cells; rear surface passivation; multicrystalline silicon; silicon oxide; silicon nitride},
  abstract = 	{In der Dissertation wurde eine Prozessstrategie zur R{\"u}ckseitenpassivierung von d{\"u}nnen multikristallinen Siliziumsolarzellen auf der Basis eines Siliziumoxid-Siliziumnitrid-Schichtsystems entwickelt und umgesetzt. Es erfolgte eine eingehende Charakterisierung der eingesetzten Passivierungsschichten und der hergestellten Solarzellen.},
  url = 	{https://macau.uni-kiel.de/receive/diss_mods_00005657},
  file = 	{:https://macau.uni-kiel.de/servlets/MCRFileNodeServlet/dissertation_derivate_00003492/Multikristalline_Siliziumsolarzellen_mit_SiO_SiN_Rueckseitenpassivierung.pdf:PDF},
  language = 	{de}
}