@PhdThesis{diss_mods_00005657, author = {Keipert-Colberg, Sinje}, title = {Multikristalline Siliziumsolarzellen mit Siliziumoxid-Siliziumnitrid-R{\"u}ckseitenpassivierung}, year = {2010}, publisher = {Christian-Albrechts-Universit{\"a}t zu Kiel}, address = {Kiel}, keywords = {Solarzelle; R{\"u}ckseitenpassivierung; PECVD; multikristallines Silizium; Siliziumoxid; Siliziumnitrid; solar cells; rear surface passivation; multicrystalline silicon; silicon oxide; silicon nitride}, abstract = {In der Dissertation wurde eine Prozessstrategie zur R{\"u}ckseitenpassivierung von d{\"u}nnen multikristallinen Siliziumsolarzellen auf der Basis eines Siliziumoxid-Siliziumnitrid-Schichtsystems entwickelt und umgesetzt. Es erfolgte eine eingehende Charakterisierung der eingesetzten Passivierungsschichten und der hergestellten Solarzellen.}, url = {https://macau.uni-kiel.de/receive/diss_mods_00005657}, file = {:https://macau.uni-kiel.de/servlets/MCRFileNodeServlet/dissertation_derivate_00003492/Multikristalline_Siliziumsolarzellen_mit_SiO_SiN_Rueckseitenpassivierung.pdf:PDF}, language = {de} }