000K utf8 1100 $c2010 1500 ger 2050 urn:nbn:de:gbv:8-diss-56576 3000 Keipert-Colberg, Sinje 4000 Multicrystalline silicon solar cells with silicon oxide silicon nitride rear surface passivation$hChristian-Albrechts-Universität zu Kiel [Keipert-Colberg, Sinje] 4000 Multikristalline Siliziumsolarzellen mit Siliziumoxid-Siliziumnitrid-Rückseitenpassivierung$hChristian-Albrechts-Universität zu Kiel [Keipert-Colberg, Sinje] 4030 Kiel$nChristian-Albrechts-Universität zu Kiel 4209 In der Dissertation wurde eine Prozessstrategie zur Rückseitenpassivierung von dünnen multikristallinen Siliziumsolarzellen auf der Basis eines Siliziumoxid-Siliziumnitrid-Schichtsystems entwickelt und umgesetzt. Es erfolgte eine eingehende Charakterisierung der eingesetzten Passivierungsschichten und der hergestellten Solarzellen. 4209 In this work a process strategy for the rear surface passivation of thin multicrystalline silicon solar cells based on a layer system of silicon oxide and silicon nitride was developed and realized. The employed passivation layers and the fabricated solar cells were intensively characterized. 4950 https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:gbv:8-diss-56576$xR$3Volltext$534 4961 https://macau.uni-kiel.de/receive/diss_mods_00005657 5051 620 5550 multicrystalline silicon 5550 multikristallines Silizium 5550 PECVD 5550 PECVD 5550 rear surface passivation 5550 Rückseitenpassivierung 5550 silicon nitride 5550 silicon oxide 5550 Siliziumnitrid 5550 Siliziumoxid 5550 solar cells 5550 Solarzelle