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Dissertation

Beitrag zur Entwicklung eines Membranreaktors : Herstellung dünner metallischer...

Bei der Entwicklung von Metallmembranen sind folgende Forderungen zu erfüllen. Der Metallfilm sollte bei minimaler Schichtdicke eine maximale Gasdichtheit aufweisen, sprich frei von Defekten in Form von Rissen oder Poren infolge von Agglomerations- und Wachstumsprozessen bzw. Delamination vom Substrat...