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Dissertation

Quantitative Beschreibung von Wasserstoff-Stickstoff-Argon-Mischplasmen

In dieser Arbeit werden Speziesdichten in einem induktiv gekoppelten H2-Ar- und H2-N2-Ar- Plasma untersucht. Es werden die Ionendichten, die Radikalteilchendichten sowie die Dichten und Temperaturen der Hintergrundgasspezies - das sind stabile neutrale Spezies - sowie der Elektronen experimentell...