Darstellung und Charakterisierung Dünner Filme in den Systemen Ti-Se, Cr-Se und Cr-Te

Herzog, Sabine

Die Darstellung, Charakterisierung und Temperung von Edukten der Systeme Ti-Se, Cr-Se und Cr-Te in Form von dünnen Filmen ist Gegenstand der vorliegenden Arbeit. Die Darstellung der Multischichten bzw. Co-Depositionsproben erfolgte durch physikalische Verdampfung der entsprechenden Elemente in einer UHV-Anlage auf einen inerten Substratträger. Folgende Methoden wurden zur Charakterisierung der Multifilme eingesetzt: Raster-Elektronen-Mikroskopie, Energiedispersive Röntgenfluoreszenz Analyse, Röntgen-Reflektometrie, Raster-Kraft-Mikroskopie, Röntgen-Pulverdiffraktometrie und Transmissions-Elektronen-Mikroskopie. Untersuchungen zur Reaktivität der Filme wurden mit ex- bzw. in-situ Röntgenbeugung durchgeführt. Dabei wurde die Bildung kristalliner Produkte bei deutlich niedrigeren Temperaturen als bei Volumensynthesen beobachtet. Besonders bemerkenswert ist auch das hochtexturierte Wachstum der Kristallite von z.B. TiSe2, CrTe3 und Cr2Te3.

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Herzog, Sabine: Darstellung und Charakterisierung Dünner Filme in den Systemen Ti-Se, Cr-Se und Cr-Te. 2002.

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