Untersuchungen der kinetischen Prozesse an Silizium-Elektroden mit Stromtransienten- und Impedanzmessungen

Hasse, Gunther

Es wurden elektrochemische Prozesse am Kontakt Silizium/Flußsäure untersucht. Insbesondere bildete dabei die Erweiterung des Verständnisses der Kennlinie einen zentralen Punkt der Arbeit. Es zeigte sich dabei, daß die Oxidbildung der wesentliche Prozeß ist, der die Kennlinienform bestimmt. Zusätzlich wurden Poren in Silizium geätzt und Versuche unternommen, den Fortschritt der Ätzung mit Impedanzspektroskopie in-situ zu beobachten. Außerdem wurden noch neuartige Oberflächenstrukturen geätzt, die Fraktalen Mustern sehr ähnlich sehen. Andere haben klare polygone Formen, die offenbar unabhängig von der Kristallsymmetrie sind.

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Hasse, Gunther: Untersuchungen der kinetischen Prozesse an Silizium-Elektroden mit Stromtransienten- und Impedanzmessungen.

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