Neon Ultra-Feinlecktest zur Vorhersage der Vakuumerhaltung resonanter Mikrosensoren

Reinert, Wolfgang

Der Neon Ultra-Fein Lecktest ist eine Druckanstiegsmethode zur Überprüfung der Gasdichtigkeit evakuierter Mikrosensorgehäuse mit integrierten Resonatoren und integriertem Getter auf Waferebene zu 100 % mit einer Messauflösung im Bereich 10E-16 mbar l /s. The Neon Ultra-Fine Leak test is a 100 % leak rate screen on wafer level for evacuated microresonator packages with a air leak rate resolution in the range of 10E-16 mbar l/s. The test is compatible with integrated getter and nanoliter package cavity volume.

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Reinert, Wolfgang: Neon Ultra-Feinlecktest zur Vorhersage der Vakuumerhaltung resonanter Mikrosensoren. 2007.

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