Entwicklung eines mikromechanischen Drehratensensorsystems mit nichtlinearem Anregungskonzept auf der Basis des am ISIT entwickelten PSM-X2-Prozesses

Schwarzelbach, Oliver

Diese Arbeit dokumentiert die Entwicklung eines Mikrosystems zur Erfassung von Drehraten bestehend aus einem mikromechanischen Sensor und der zugehörigen Systemelektronik. Die Besonderheit dieses Systems besteht in der Verwendung eines nichtlinearen Antriebskonzepts, das in dieser Form erstmalig erfolgreich umgesetzt werden konnte.

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Schwarzelbach, Oliver: Entwicklung eines mikromechanischen Drehratensensorsystems mit nichtlinearem Anregungskonzept auf der Basis des am ISIT entwickelten PSM-X2-Prozesses. 2007.

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